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低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用

2017-10-28 20:45:38 大云網  點擊量:408 評論 (0)
低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用

 

摘要:

低壓擴散是一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統實現的擴散方式,真空系統提供
低壓力氛圍,從而增加三氯氧磷分子平均自由程,提高擴散均勻性、穩定性和成膜致
密性;通過低壓擴散工藝,可以獲得均勻的p-n 結結構,更易實現淺結高方阻擴散工
藝,提升電池轉換效率。同時低壓擴散以其優異的方阻均勻性大大提高單管產能,降
低制造成本。

 

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